等離子表面處理機中的等離子體中帶電粒子間相互作用,性狀非?;顫?,使用這種特性就可以完成各種資料的外表改性。
等離子體技能在外表工藝上的應用,主要用于以下幾方面。
1、等離子體在電子工業中的應用:
大規模集成電路片心的生產工藝,過去采用化學方式,采用等離子體辦法替代之后,不只降低了工藝過程中的溫度,還因將涂膠、顯影、刻蝕、除膠等化學濕法改為等離子體干法,使工藝更簡單,便于完成自動化,進步成品率。等離子體辦法加工的片心分辨率及保真度都高,對進步集成度及可靠性均有利。等離子體堆積薄膜用等離子體聚合介質膜可維護電子元件,用等離子體堆積導電膜可維護電子電路及設備免遭靜電荷積累而引起損壞,用等離子體堆積薄膜還可以制作電容器元件。
除了以上所述的等離子體技能的部分應用,等離子體技能在手機職業、半導體工業、新能源職業、聚合物薄膜、資料防腐蝕、冶金、工業三廢處理、醫療職業、LCD顯示屏拼裝、航天航空等諸多范疇具有廣泛應用,其遠景之廣闊,令人矚目。
2、等離子體外表處理:
為了進步刀具、模具等的性能,可以用等離子體對金屬外表進行氮、碳、硼或碳氮的浸透。這種辦法的特點是,不是在外表加一覆蓋層,而是改變基體外表的資料結構及其性能。處理過程中,工件溫度比較低,不使工件變形,這對精密的部件很重要。這一辦法可以應用于各種金屬基體,主要有輝光放電滲氮,氮碳共滲,滲硼。
3、等離子體用于資料外表改性:
改變潮濕性(又稱浸潤性)。一些有機化合物外表的潮濕性對顏料、墨、粘結劑等的粘結性,關于資料外表的閃絡電壓及外表漏泄電流等電性能,都有很大的影響。衡量潮濕性的量稱為接觸角。針對資料的不同處理會對接觸角有著不同的影響。
Z常見的等離子體是高溫電離氣體,如電弧、霓虹燈和日光燈中的發光氣體,還有太陽、閃電、極光等。等離子體在手機職業、半導體工業、新能源職業、聚合物薄膜、資料防腐蝕、冶金、煤化工、工業三廢處理、醫療職業、LCD顯示屏拼裝、航天航空等諸多范疇具有廣泛應用。