等離子體發生器的放電原理

發布日期：2021-03-26 17:03 來源：http://www.kfada.com 點擊：

等離子體發生器的放電原理

　使用外加電場或高頻感應電場使氣體導電，稱為氣體放電。氣體放電是發生等離子體的重要手段之一。被外加電場加速的部分電離氣體中的電子與中性分子磕碰，把從電場得到的能量傳給氣體。

　　電子與中性分子的彈性磕碰導致分子動能增加，表現為溫度升高；而非彈性磕碰則導致激發（分子或原子中的電子由低能級躍遷到高能級）、離解（分子分解為原子）或電離（分子或原子的外層電子由束縛態變為自由電子）。

　　高溫氣體經過傳導、對流和輻射把能量傳給周圍環境，在定常條件下，給定容積中的輸入能量和損失能量持平。電子和重粒子（離子、分子和原子）間能量傳遞的速率與磕碰頻率(單位時間內磕碰的次數)成正比?！菊婵盏入x子設備】

　　在稠密氣體中，磕碰頻繁，兩類粒子的平均動能(即溫度)很簡單達到平衡，因此電子溫度和氣體溫度大致持平,這是氣壓在一個大氣壓以上時的一般狀況,一般稱為熱等離子體或平衡等離子體。

　　在低氣壓條件下，磕碰很少，電子從電場得到的能量不簡單傳給重粒子，此時電子溫度高于氣體溫度，一般稱為冷等離子體或非平衡等離子體。
等離子處理