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真空等離子清洗機選型攻略

發布日期:2020-07-27 00:00 來源:http://www.kfada.com 點擊:

真空等離子清洗機選型攻略
    等離子清洗的使用,起源于20世紀初,跟著高科技工業的快速發展,等離子設備使用越來越廣,現在已在很多高科技領域中,居于關鍵技術的地位。等離子清洗技術對工業經濟和人類文明影響較大,首推電子資訊工業,尤其是半導體業與光電工業。跟著越來越多職業使用到等離子清洗機,怎樣挑選適合自己的等等離子設備就成為了人們的一個問題,今天咱們就來談談真空等離子清洗機該如何選型。
   真空等離子清洗機該如何選型,咱們首要從以下幾個方面來考慮。
   首要咱們咱們從腔體巨細來確認等離子清洗機的類型,腔體巨細首要從以下兩個方面予以考慮。

一、工件的巨細
    一般來說真空等離子清洗機的分類的話首要是依照腔體尺度和腔體原料來分的,挑選腔體尺度時DI一個要考慮的便是工件巨細,也便是咱們至少要能把工件放下去,假如工件連放都放不下去,再考慮其他要素也沒有多大的意義。

二、產能
     任何產品假如有產能要求的話,肯定是需求依據產能來選腔體巨細,腔體越大也就意味著一次能處理的產品也就更多,假如對產能沒有太多要求的話,優先考慮工件巨細。在工件可以放下的前提下,咱們在依據產能核算得出合適的腔體尺度。

    第二個咱們要考慮的問題,便是挑選哪種頻率的等離子清洗機


   頻率的挑選


    現在常見的頻率有40KHz和13.56MHz,20Mhz。40kHz的自偏壓為1000V左右,13.56MHz自偏壓為250V左右,20MHz的自偏壓則更低,這三種激起頻率的機制不同,40kHz產生的反響為物理反響,13.56MHz產生的反響既有物理反響又有化學反響,20MHz有物理反響但更首要的反響為化學反響,需求對資料進行活化、改性的要用13.56MHz或許20MHz的等離子體清洗40kHz的自偏壓為1000V左右,13.56MHz自偏壓為250V左右,20MHz的自偏壓則更低,這三種激起頻率的機制不同,40kHz產生的反響為物理反響,13.56MHz產生的反響既有物理反響又有化學反響,20MHz有物理反響但更首要的反響為化學反響,需求對資料進行活化、改性的要用13.56MHz或許20MHz的等離子體清洗。

  腔體原料的挑選

  現在常見的腔體原料有以下幾種,石英腔體,不銹鋼腔體,鋁合金腔體,三種腔體各有各的優勢,石英腔體溫度低,且不易產生反響。鋁合金腔體的優勢:1、 鋁合金密度低,強度高,超過優質鋼,機械加工功能比較好。 2、 鋁具有優良的導電性、導熱性和抗蝕性。 3、資料對化學反響的兼容性比較好,不易產生金屬污染、particle等。

  真空泵的挑選

  是挑選國產的泵,還是進口的,是干泵還是油泵,是單級泵,還是雙極泵,每一種真空泵的挑選都可以依據客戶的實踐需求來選取,這里就不做過多的贅述。

 氣路的挑選

 常見的真空等離子清洗機都是兩路氣體通道,但是這并不能滿意一切的處理需求,假如需求更多的反響氣體,那么氣體通道就要適當增加,這個也是依據客戶的實踐需求來挑選幾路氣體通道。
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