PDMS微流體體系等離子處理
PDMS聚二甲基硅氧烷，縮寫為 PDMS，這是一種有機硅類的聚合物，其得到了非常頻頻和廣泛的使用。一切有機硅都具有一起的重復硅氧烷單元，其分別由一個 Si-O 基團所組成。硅原子上能夠結合很多側基團。如果是 PDMS，這些側基團則為甲基基團 CH3。聚合物可與各種 鏈結尾結合。較常見的是三甲基甲硅烷氧基團 Si-SH3。僅由兩個結尾基團（無二甲基甲硅烷氧單體單元）組成的較短的分子是六甲基二硅氧烷 HMDSO，其作為疏水等離子涂層的工藝氣體是非常重要的。
PDMS 是線性聚合物，其分子量極高并呈液態?？墒?，其能夠相互結合，并因而具有彈性特性。
PDMS 是一種簡直為惰性并具有高抗氧化性的聚合物，其相同能夠在有機電子領域中用作電絕緣體（微電子或許聚合物電子），還可用于生物微剖析領域。
低壓等離子體對于 PDMS 較常見的一種使用便是微流體體系領域，使用時依照客戶要求對指定的聚二甲基硅氧烷（例如：Sylgard 184）進行結構化，然后能夠進行等離子處理，并在玻璃板、硅外表或許其他基材上長期涂覆 PDMS 芯片。
對微流體體系進行等離子預處理的長處：
較短的工藝時刻
PDMS 長期粘結至基材外表，借此形成微流體部件的不滲透型通道
PDMS 和基材外表的親水化，并借此完全潤濕通道
形成親水-疏水區域
微流體體系的使用：
從微觀層面對化學反應和液體流動進行研究
檢測生物有機體
醫療檢查時快速的臨床診斷和藥物檢查
