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PDMS微流體體系等離子處理

發布日期:2020-06-08 00:00 來源:http://www.kfada.com 點擊:

PDMS微流體體系等離子處理


PDMS聚二甲基硅氧烷,縮寫為 PDMS,這是一種有機硅類的聚合物,其得到了非常頻頻和廣泛的使用。一切有機硅都具有一起的重復硅氧烷單元,其分別由一個 Si-O 基團所組成。硅原子上能夠結合許多側基團。如果是 PDMS,這些側基團則為甲基基團 CH3。聚合物可與各種 鏈末端結合。較常見的是三甲基甲硅烷氧基團 Si-SH3。僅由兩個末端基團(無二甲基甲硅烷氧單體單元)組成的短的分子是六甲基二硅氧烷 HMDSO,其作為疏水等離子涂層的工藝氣體是非常重要的。
PDMS 是線性聚合物,其分子量極高并呈液態。但是,其能夠相互結合,并因而具有彈性特性。
PDMS 是一種幾乎為惰性并具有高抗氧化性的聚合物,其同樣能夠在有機電子領域中用作電絕緣體(微電子或者聚合物電子),還可用于生物微剖析領域。 低壓等離子體對于 PDMS 較常見的一種應用便是微流體體系領域,應用時依照客戶要求對指定的聚二甲基硅氧烷(例如:Sylgard 184)進行結構化,然后能夠進行等離子處理,并 在玻璃板、硅外表或者其他基材上長期涂覆 PDMS 芯片。
對微流體體系進行等離子預處理的長處:
較短的工藝時刻
PDMS 長期粘結至基材外表,借此構成微流體部件的不滲透型通道
PDMS 和基材外表的親水化,并借此徹底潤濕通道構成親水-疏水區域
 微流體體系的應用:
從微觀層面對化學反應和液體流動進行研究
檢測生物有機體
醫療檢查時快速的臨床診斷和藥物檢查
PDMS 預處理的工藝參數
工藝氣體: 氧氣 (O2) 或室內空氣
壓力: 0.1 – 1.0 mbar
發生器: 13.56 MHz,功率介于 50 – 300 W 之間
工藝時刻: 10 – 60 秒
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